SEMICON JAPAN 2007出展のお知らせ

2007年12月3日

ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社(代表取締役社長　藤森徹)は、2007年12月5日(水)～7日(金)に幕張メッセ(千葉県)で開催される「SEMICON JAPAN 2007」(主催:Semiconductor Equipment and Materials International)に出展します。

「測定は技術をリードする」をテーマに、高速・高分解能で安定した精密測定を実現し幅広いアプリケーションに対応したソニーのレーザスケールをご紹介します。半導体検査後工程・FPD製造装置などの機器への組込みに適した分解能1nmを誇るテープ型レーザスケール「BT10」、半導体検査・製造装置や超精密加工機などに最適な最小分解能34ピコメートルというクラス最高性能を記録する「BS78シリーズ」をメインに、高い信頼性と磁気技術をもつ高精度デジタルゲージ、高分解能＆耐環境性に優れたマグネスケールなど幅広いラインナップをそろえています。また、同時に世界初※1の空冷方式によるベータホウ酸バリウム結晶(BBO)※2を使った1W・連続波・266nmの遠紫外固体レーザシステムを技術展示致します。

※1 BBO結晶使用および空冷方式、ソニーマニュファクチュアリングシステムズ調べ、2007年7月9日現在
※2 β-BaB2O4

主な出展品

レーザスケール
- BT10シリーズ高速応答、高安定性を生かしたままで長尺にも対応可能なテープ型レーザスケール
- BS78シリーズ高速、高分解能で安定した超精密測定を実現するレーザスケール
- BL57シリーズ信号波長400nmの高精度、高速応答直線スケール
- BH25シリーズ信号波長250nmの高精度反射型レーザスケール
- BH20シリーズ　高精度、高分解能、高速応答の小型･反射型回転レーザスケール
デジタルゲージ
- DK800シリーズ最小分解能　0.1μm　スリムで小型の高精度測長ユニット
- MGシリーズ入力分解能 0.1μm　最大接続64チャンネル、フレキシブル対応のマルチI/Fユニット
マグネスケール
- SR77シリーズ最小分解能　0.01μm　耐久性に優れたスリム型磁気式アブソリュートマグネスケール
- RU77シリーズシステム精度±2.5秒　高精度アブソリュート回転マグネスケール

技術展示

遠紫外固体レーザシステム