真空対応小型反射型レーザスケール BH25の発売

2006年5月22日

ソニーマニュファクチュアリングシステムズ株式会社(代表取締役社長三原一郎)はこのほど、従来より高精度、高分解能、高安定性で好評を博しておりますレーザスケールにおいて装置組込みに適した小型反射型レーザスケールBH25シリーズに、真空中用途が可能な商品をランナップいたします。

1.商品名

BH25-REDBT(青板ガラス)/BH25-REDCT(低膨張ガラス)

2. 発売日

受注開始予定日 2006年6月

3.商品化のコンセプト

半導体デザインルールの微細化により、製造工程及び検査装置市場真空用の機器組込みに適した高精度、高分解能、高速応答のスケール及び変位センサのに対する要求が高まっており、これに対応するため小型反射型の真空対応レーザスケールを商品化します。

小型反射型レーザスケール
BH25

小型反射型レーザスケール BH25の主な仕様

1.有効長:
- 青板ガラス 30,70,120,170,220,270,320,370,420mm
- 低膨張ガラス 30,70,120,170,220,270,320,370,420mm
2.全長:有効長+26mm(有効長40～420mm)
3.最大可動長:有効長+10mm(有効長40～420mm)
4.精度(20℃にて):
- ±0.5μm(～170mm)
- ±1.0μm(～420mm)
5.到達真空圧:10-5Pa
6.温度係数:
- -0.7x10-6/℃(ネオセラム)
- 8x10-6/℃(青板)
7.光源:半導体レーザ
8.放射パワー:JISクラス3
9.検出方式:回折格子走査式
10.使用温度範囲:+10～+30℃(結露不可)
11.保存温度範囲:-10～+50℃(湿度60%以下)